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MEMS与微系统
课程类型：
选修课
发布时间：
2023-07-17 11:21:05
主讲教师：
王喆垚
课程来源：
清华大学
建议学分：
3.00分
课程编码：
xtzx1035
课程介绍
课程目录
教师团队
第一章 概述
第1小节 MEMS的定义
（12分钟）
第2小节 MEMS的应用领域
（15分钟）
第3小节 MEMS的发展
（17分钟）
第4小节 MEMS的发展（续）
（15分钟）
第二章 微系统基本理论—基础力学与基本物理
第1小节 应力和应变
（14分钟）
第2小节 弹性梁
（14分钟）
第3小节 弹性梁（续）
（15分钟）
第4小节 薄板与流体的基本概念
（12分钟）
第5小节 流体的基本概念（续）
（8分钟）
第6小节 静电力
（13分钟）
第7小节 尺寸效应
（4分钟）
第三章 微系统制造技术I—光刻与体微加工技术
第1小节 MEMS光刻技术
（15分钟）
第2小节 体微加工技术—各向同性湿法刻蚀
（7分钟）
第3小节 体微加工技术—各向异性湿法刻蚀
（16分钟）
第4小节 体微加工技术—各向异性湿法刻蚀（续）
（14分钟）
第5小节 体微加工技术—干法刻蚀
（12分钟）
第6小节 体微加工技术—时分复用深刻蚀
（15分钟）
第7小节 体微加工技术—时分复用深刻蚀（续）
（14分钟）
第8小节 体微加工技术—稳态深刻蚀
（7分钟）
第9小节 体微加工技术—干法刻蚀设备与应用
（10分钟）
第三章 微系统制造技术II—表面微加工技术
第1小节 表面微加工技术概述
（10分钟）
第2小节 表面微加工技术的几个问题
（14分钟）
第3小节 表面微加工代工工艺
（5分钟）
第4小节 表面微加工的应用
（7分钟）
第5小节 厚结构层技术
（9分钟）
第三章 微系统制造技术III—键合
第1小节 键合概述与直接键合
（12分钟）
第2小节 阳极键合与聚合物键合
（10分钟）
第3小节 金属键合与键合设备
（12分钟）
第三章 微系统制造技术IV—集成与封装
第1小节 工艺集成
（10分钟）
第2小节 系统集成
（4分钟）
第3小节 单芯片集成与多芯片集成
（14分钟）
第4小节 三维集成
（6分钟）
第5小节 MEMS封装
（8分钟）
第6小节 MEMS封装(续)
（10分钟）
第四章 微型传感器I—传感器的敏感机理 排序：7 新增节 编辑 删除 名称 视频 作业
第1小节 概述
（14分钟）
第2小节 压阻传感器
（11分钟）
第3小节 电容传感器与压电传感器
（7分钟）
第4小节 谐振传感器与遂穿传感器
（6分钟）
第四章 微型传感器Ⅱ—压力传感器
第1小节 压力传感器
（8分钟）
第2小节 压阻式压力传感器
（11分钟）
第3小节 压阻式压力传感器（续）
（8分钟）
第4小节 电容式压力传感器与谐振式压力传感器
（8分钟）
第5小节 硅微麦克风
（10分钟）
第四章 微型传感器Ⅲ—惯性传感器
第1小节 惯性传感器与加速度传感器概述
（13分钟）
第2小节 压阻式与电容式加速度传感器
（9分钟）
第3小节 电容式与热传导式加速度传感器
（8分钟）
第4小节 微机械陀螺概述
（10分钟）
第5小节 典型微机械陀螺
（12分钟）
第6小节 典型微机械陀螺（续）
（9分钟）
第7小节 模态解耦合
（7分钟）
第五章 微型执行器
第1小节 执行器概述
（5分钟）
第2小节 静电执行器—平板电容执行器
（10分钟）
第3小节 静电执行器—平板电容执行器（续）
（11分钟）
第4小节 静电执行器—叉指电容执行器
（12分钟）
第5小节 热执行器
（14分钟）
第6小节 压电执行器和磁执行器
（6分钟）
第六章 RF MEMS
第1小节 RF MEMS概述
（10分钟）
第2小节 MEMS开关I
（10分钟）
第3小节 MEMS开关II
（2分钟）
第4小节 MEMS开关III
（9分钟）
第5小节 MEMS谐振器—梳状谐振器
（15分钟）
第6小节 MEMS谐振器—板式谐振器
（8分钟）
第7小节 MEMS谐振器的制造
（13分钟）
第七章 光学MEMS
第1小节 光学MEMS概述
（10分钟）
第2小节 MEMS光开关I
（13分钟）
第3小节 MEMS光开关II
（7分钟）
第4小节 影像再现I—反射器件
（15分钟）
第5小节 影像再现II—衍射器件
（11分钟）
第6小节 影像再现III—干涉器件
（6分钟）
第八章 微流体与芯片实验室
第1小节 概述
（11分钟）
第2小节 软光刻技术
（8分钟）
第3小节 微流体输运
（11分钟）
第4小节 微流体输运（续）
（8分钟）
第5小节 试样处理
（9分钟）
第6小节 试样处理（续）
（12分钟）
第7小节 检测技术
（12分钟）
第8小节 微流体应用
（12分钟）
第9小节 微流体应用（续）
（14分钟）
第九章 BioMEMS
第1小节 概述
（11分钟）
第2小节 药物释放 神经探针 生物传感器
（13分钟）
第3小节 可穿戴与可植入微系统
（6分钟）
