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MEMS与微系统
课程类型:选修课
发布时间:2023-07-17 11:21:05
主讲教师:王喆垚
课程来源:清华大学
建议学分:3.00分
课程编码:xtzx1035
王喆垚,博士,教授,博士生导师。1995年和2000年分别获得清华大学学士和博士学位;2000年-2002年在清华大学微电子所从事博士后研究,2002-2003在荷兰Delft University of Technology从事博士后研究,2003年底回到清华大学微电子所工作。2003.12起任副教授,2008.12任教授。主要从事MEMS、微纳传感器、三维集成技术方面的研究。 以第一及通讯作者发表SCI收录期刊论文近70篇,国际会议论文40篇。申请国家发明专利18项。2005年被评为“北京市科技新星”,2005年入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”。中国仪器仪表学会传感器分会理事,IEEE 高级会员。2008-2016年IEEE Sensors Conference技术委员会委员,2011-2016年中国国际半导体技术大会技术委员会委员。 2005年起单数年在清华大学开设MEMS与微系统课程,2016年开设集成微系统课程。出版“微系统设计与制造”(2015年清华大学出版社,第二版)和“三维集成技术”(2014年清华大学出版社)